SOI500型晶圆缺陷自动检测设备气动隔振器选型指南
在精密制造领域，特别是SOI500型晶圆缺陷自动检测设备，对环境振动的控制至关重要。微小的振动都可能导致检测结果的偏差，影响产品质量。气动隔振器作为一种高效的减振解决方案，其选型直接关系到设备的性能表现。
核心考量要素：
设备总重及载荷分布： 首先需要精确计算SOI500型检测设备的总重量，并了解各个支撑点的载荷分布情况。气动隔振器的承载能力必须大于设备总重，且各支撑点应尽量均衡。
固有频率要求： 晶圆检测设备通常对低频振动的抑制要求较高。隔振器的固有频率（通常由空气弹簧的刚度和载荷决定）应远低于设备可能受到的最低环境振动频率，以确保有效的隔振效果。
隔振效率与频响特性： 针对设备工作频段内的主要干扰振动源，选择能够提供高隔振率的隔振器。了解不同型号气动隔振器的频响曲线，选择在关键频段衰减效果最佳的型号。